藝過程設計對加工質量、生產率、成本往往具有關鍵性的全局影響，在精密加工和超精密加工中更是如此，除應該遵循一般加工的原則和規律外，還應考慮以下問題。
(1)循序漸近、嚴格要求 進行精密加工和超精密加工的工件，一定要有良***的粗、半精、精順序加工基礎。原材料，各工序加工質量應嚴格要求，工件在搬運存儲中不得碰傷、工作地環境應清潔整齊、有條不紊。
(2)正確選擇定位基準，控制定位基準加工質量 往往采用加工面本身為定位基準，以保證加工余量的均勻；采用互為基準原則保證有位置精度要求的表面；要保證定位基準的加工質工量及潔凈，在每道工序加工前，要注意定位基準是否受損和潔凈，在粗精工序轉換時，應安排修磨定位基準工序。
(3)要注意工件的夾緊變形和加工中變形 在超精密加工時，由于是微量去除，可能產生安裝變形大于加工余量的情況，******能做到無變形裝夾。對于一些加工中易變形的零件，薄片狀零件可用真空吸盤吸附；不規則形狀的零件可采用液態橡膠、瀝青、工業用臘、電流變體一種糊狀液體，當通電流時即可固化，斷電后恢復液態)等物質將工件粘接(溶接)于夾具上進行加工；當然也可以采用過定位結構來提高工件本身的剛度。
(4)注意熱處理工序的安排 重影響，而且一直是一個難題，因此在加工時要在粗、半精、精加工階段轉換時安排人工時效甚至自然時效來消除內應力，在關鍵工序前也要安排相應地熱處理工序。
